硅片插片清洗一体机

设备名称：全自动硅片插片清洗一体机

设备型号：ZFYT-09CH

功能特点：自动硅片插片机与自动硅片清洗机有机无缝结合，中间无需人工搬运工装篮。通过一台自动插片机自动插片，插片后采用一台机械手将插片后的花篮（100片/篮）送入清洗机清洗，清洗结束后采用一台工业机器人将花篮送到自动检片机上料位，检片结束后机器人将空花篮放到花篮输送机构，花篮输送机构将空花篮送到插片机机上料端，工人操作只需保证插片机上料槽内有硅片即可。

工艺流程：脱胶后的硅片上料→自动分片→自动插片→工装篮自动进入清洗工序→上料台→超声清洗→超声碱洗→超声碱洗→超声碱洗→超声漂洗→超声漂洗→超声漂洗→超声漂洗→慢提拉脱水→烘干→下料→机器臂抓取花篮送入自动检片机入口→机器臂抓取花篮放到花篮输送机构→花篮进入插片机